样品相对于电子束必须有足够的透明度;在样品制备过程中不允许表面产生氧化和腐蚀;薄膜样品的组织结构必须和大块样品相同，在制备过程中，组织结构不变化;薄膜样品应有一定强度和刚度，在制备