下列对器件尺寸参数描述正确的有()Atox是器件栅氧化层的厚度,由工艺决定BL是器件的沟道长度,W是器件的宽度C一般所说的nm工艺,其中的nm是指器件的最小沟道长度LD一般所说的nm工艺,其中的nm是指器件的栅氧化层的厚度tox

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